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    顯微分光膜厚儀

    簡要描述:OPTM 系列顯微分光膜厚儀
    測量項目:

    ? 絕.對反射率測量

    ? 多層膜解析

    ? 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

    • 產品型號:OPTM 系列
    • 廠商性質:生產廠家
    • 更新時間:2023-12-08
    • 訪  問  量:1125

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    詳細介紹

    OPTM 系列顯微分光膜厚儀

     •  使用顯微光譜法在微小區域內通過絕.對反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。

    •  可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了 即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件。

    •  頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

    •  通過顯微光譜法測量高精度絕.對反射率(多層膜厚度,光學常數)

    •  1點1秒高速測量

    •  顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)

    •  區域傳感器的安全機制

    •  易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析

    •  獨立測量頭對應各種inline客制化需求

    •  支持各種自定義

    測量項目:

    •  絕.對反射率測量

    •  多層膜解析

    •  光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

     

    OPTM 系列顯微分光膜厚儀

    型號

    OPTM-A1

    OPTM-A2

    OPTM-A3

    波長范圍

    230 ~ 800 nm

    360 ~ 1100 nm

    900 ~ 1600 nm

    膜厚范圍

    1nm ~ 35μm

    7nm ~ 49μm

    16nm ~ 92μm

    測定時間

    1秒 / 1點

    光斑大小

    10μm (小約5μm)

    感光元件

    CCD

    InGaAs

    光源規格

    氘燈+鹵素燈

    鹵素燈

    電源規格

    AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)

    尺寸

    555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體 部分)

    重量

    55kg(自動樣品臺規格之主體部分)

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